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KOFLOC マスフローコントローラー/精密流量計測制御器 MODEL3200①
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商品ホームページから抜粋いたします。
MODEL3200シリーズは、半導体、液晶、燃焼、分析、バイオ等幅広い分野で実績を誇る3910シリーズの後継機として設計された新型マスフローコントローラです。新しいコフロック・スタンダードにふさわしいハイパフォーマンスモデルです。
特長
・温度追従型電流差検出方式の流量センサーを搭載し高精度、高速応答を実現
・安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用
・ダイヤフラムシートバルブの採用によりデットボリュームを低減
・F.S. 1SCCM の微少流量対応（SR オプション）
流量レンジ：1SCCM～20SLM (N2 換算)
対応ガス種：Air,N2,O2,H2,He,Ar,CO2等
詳細仕様については、上記カタログをご覧ください
・燃焼ガス制御用の低差圧対応（ＬＰオプション）
取り外すまで動いていたようです。同じものが３台あります。